【摘 要】
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介绍了一种电磁悬浮微驱动器的工作原理；针对磁悬浮微驱动器的运动特点，提出了一种基于最大值原理的模糊PID微驱动控制方法，对每种控制单元的输入输出信号与控制参数作了详细分
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介绍了一种电磁悬浮微驱动器的工作原理；针对磁悬浮微驱动器的运动特点，提出了一种基于最大值原理的模糊PID微驱动控制方法，对每种控制单元的输入输出信号与控制参数作了详细分析与矫正；首先进行了仿真实验，然后构建了微驱动器的实验装置，采用阶跃、方波和阶梯等驱动信号来检验该微驱动器的跟踪能力；实验数据表明，仿真结果与实验结果基本一致，验证了所提出的微运动控制方法的正确性和可行性。
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