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利用变角Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）及其层状结构的计算程序分析和计算ＣａＡｓ（１００）在６００－６７５℃热退火处理后表面组分／深度的定量变化。在ＧａＡｓ表面氧化物与衬底之间存在一过渡层，即弛预层，该层在自然情况下为富Ａｓ的结构，经６００℃以上的温度退火后，成为富Ｇａ的结构，实验和计算发现该厚度的Ｇａ的相对含量随退火温度增加而增大，即弛豫层中的Ｃａ含量由５３．４％变为６２．１％，弛豫层厚度由１．３ｎｍ