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古汉语中的“由”和“由于／於”都可作为表因的因果连词，它们均由动词直接或间接虚化而来。动词“由”在虚化为连词的过程中产生了分歧，虚化的路径有两条：由动词直接虚化为连词或由动词虚化为介词，再由介词虚化为连词，但却殊途同归。而“由于/於”的虚化则经历了两个阶段：“由”和“于／於”凝固成词阶段和“由于/於”语法化阶段。“由”的虚化并没有对“由于/於”的虚化产生直接的影响。