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用有限差分光束传播法(Three-dimensional beam Propagation Model,3D-BPM)三维模拟技术,系统研究了基于单模波导定向耦合器的马赫-泽德2×2热光开关对器件的设计方法及加工精度的依赖关系。由于器件的光学损耗与器件结构误差有很大的影响,所以将实际测得的加工误差转换为公差后引入到设计中,对器件的性能进行优化,使器件的插入损耗改进到1.5d B以下,即芯片上的光损耗减小到0.5d B以下,隔离度提高到20d B以上,可提高实际产品设计与生产的成功率。