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以化学气相传输法制取无水ＥｕＣｌ３，ＥｒＣｌ３和ＬｕＣｌ３。稀土氧化物为原料，无水氯化铝为氯化剂和传输介质。Ｌｎ２Ｏ３与过量的氯化铝在３００℃反应，生成ＬｎＣｌ３。ＮｎＣｌ３-在高温与氯化铝反应生成气态配合物，该配合物在低温分解。控制适当的温度梯度场，可实现ＬｎＣｌ３与其他固体分离。残余氯化铝在２００℃加热除去。产物收率〉９０％，纯度〉９９．５％，利用化学气相传输法可获得高纯度较高的无水ＬｎＣｌ３