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叙述用硫钝化GaAs表面的研究动态,包括表面处理工艺,已取得的效果及表面钝化的机理,并指出今后的研究内容。
硫化物钝化GaAs表面的研究进展
【摘 要】
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叙述用硫钝化GaAs表面的研究动态,包括表面处理工艺,已取得的效果及表面钝化的机理,并指出今后的研究内容。
【机 构】
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华东师大,复旦大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年5期
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