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在大面积洁净室内引入SMIF／微环境系统能在更好的满足工艺洁净等级的要求下，起到节能的效果。分析总结了影响SMIF／微环境系统的主要参数以及提出了这些参数的建议取值范围、具体分析了在引入SMIF／微环境系统后所带来的节能效果（通过降低微环境内的风机能耗以及系统内气流组织的优化，其最大节能效果可达60．86％）。