【摘 要】
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采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积（EACVD）金刚石中的氢原子（Hα,Hβ,Hγ）、碳原子C（2p3s2p2∶λ=165.7nm）以及CH（A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm）的光发射过程
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（10375015）,河北省自然科学基金项目（502121）和河北大学青年基金项目（2005Q31）资助
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采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积（EACVD）金刚石中的氢原子（Hα,Hβ,Hγ）、碳原子C（2p3s2p2∶λ=165.7nm）以及CH（A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm）的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性。结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小;当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大。
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