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氧化物陶瓷靶材是一种关键性的基材镀膜材料,其结构向高密度、大尺寸、管状、异型、均匀方向发展,这些结构特点对材料成型技术提出了更高的要求。本文对氧化物陶瓷靶材的多种产业化成型工艺进行综合评述,结合在压力注浆成型工艺上取得的进展,重点对高压注浆成型工艺的技术特点、应用优势进行了介绍,并展望了其应用前景。