【摘 要】
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研究、设计了一种柔性压电式微定位机构.此机构采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对丝杠螺母传动的精密机床工作台的运动位置进行自动补偿,实现了超精密定位
【基金项目】
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吉林省教育厅基金资助项目（200308）
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研究、设计了一种柔性压电式微定位机构.此机构采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对丝杠螺母传动的精密机床工作台的运动位置进行自动补偿,实现了超精密定位.文中对柔性铰链机构进行了合理的设计及参数分析,并应用于精密机床中进行定位精度测试.实测结果表明,采用柔性压电式微位移机对精密机床工作台二次精定位,可使工作台定位精度提高到0.01μm,可满足精密、超精密加工需要.
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