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【正】 本文论述了光学薄膜淀积过程的石英晶体振荡监控的结构,原理及控制系统,分析了该监控方法的测量精度,有效范围及其影响精度的主要因素,并对该监控方法在光学
光学薄膜的石英晶体振荡监控
【摘 要】
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【正】 本文论述了光学薄膜淀积过程的石英晶体振荡监控的结构,原理及控制系统,分析了该监控方法的测量精度,有效范围及其影响精度的主要因素,并对该监控方法在光学
【机 构】
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南京三三0四厂,南京三三0四厂
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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1993年3期
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