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三角法光学非接触测量头应用中的关键技术
三角法光学非接触测量头应用中的关键技术
来源 :天津大学学报:自然科学与工程技术版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:roycetang
【摘 要】
:
光学非接触测头在其实际应用中,有一系列问题需要解决.为此,对三角法测量头的灵敏度与特性标定、工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统
【作 者】
:
吴奎先
杨仁平
张国雄
李敬杰
裘祖荣
于复生
【机 构】
:
中国工程物理研究院化工材料研究所,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
:
天津大学学报:自然科学与工程技术版
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
测量
非接触测头
三角法
标定
作用半径
measurement
non-contact probe
triangulation
calibration
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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光学非接触测头在其实际应用中,有一系列问题需要解决.为此,对三角法测量头的灵敏度与特性标定、工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统的作用半径标定等应用中的关键技术进行了实验研究,提出了误差补偿、提高调整和标定精度以提高光学非接触测头使用精度的方法.
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