大型光栅刻划机工件台同步减重装置设计

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【摘要】

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<正> 1.引言随着激光核聚变技术,天文学和同步辐射技术等高科技的迅速发展,大面积、高分辨率光栅在这些领域得到了越来越广泛的应用。为此长春光机所光栅研究室研制出了一台

【作者】

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高键翔

【机构】

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中科院长春光机所

【出处】

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光机电信息

【发表日期】

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1997年12期

【关键词】

：

光栅刻划机刻划精度减重装置

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<正> 1.引言随着激光核聚变技术,天文学和同步辐射技术等高科技的迅速发展,大面积、高分辨率光栅在这些领域得到了越来越广泛的应用。为此长春光机所光栅研究室研制出了一台大型光栅刻划机。本文讨论了刻划机工件台及光栅毛坯减重系统的设计和安装,该系统不仅可以减少工件台对导轨的压力,还可减轻重量较大的光栅毛坯对工件台的压力,确保了光栅机的刻划精度。更多还原

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