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在Ni片上制备YSZ/CeO2阻挡层和YBCO超导膜

来源 :第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lastdemon
【摘 要】
：
该文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层，X一射线衍射φ扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的C轴织构和较好的平面内双轴织构。用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制各YBCO超导薄膜。在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载Ql值
【作 者】
：
石东奇 王素玉 
【机 构】
：
有色金属研究总院 交通大学
【出 处】
：
第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议
【发表日期】
：
1998年12期
【关键词】
：
YBCO超导薄膜 
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该文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层，X一射线衍射φ扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的C轴织构和较好的平面内双轴织构。用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制各YBCO超导薄膜。在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载Ql值
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