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工艺冷却水系统常用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却。工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统，对工艺冷却水系统组成、工作原理、系统特点及系统模式选择等内容进行了研究。
工艺冷却水系统研究与应用
【摘 要】
：
工艺冷却水系统常用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却。工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统，对工艺冷却水系统组成、工作原理、系统特点及系统模式选择等内容进
【机 构】
：
西安中为光电科技有限公司
【出 处】
：
科技与企业
【发表日期】
：
2014年6期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技