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研究了射频辉光放电发射光谱法（rf—GI）-OES）测定不锈钢成分C，Si，Mn，P，S，Cr，Ni，Cu，Co，Al。考察了射频功率、载气气压、预溅射时间等仪器参数对不锈钢元素谱线发射强度及相对强度稳定性的影响和直流自偏压与射频功率和载气气压的关系。以此为基础，优化后的最佳分析条件为：射频功率90W、载气气压300Pa、预溅射时间100S、积分时间20S。方法用于测定不锈钢标准样品，测定值与认定值相符，精密度良好。