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借助CoventorWare软件，建立在微机械陀螺仪中质量块与底部电极间附有微尘的模型。在网格化后得到的有限元模型基础上，进行模态分析，得到了微尘对驱动和检测模态谐振频率的影响仿真。在载荷承受分析里，微尘使得微机械陀螺仪的临界载荷和载荷承受范围缩小。
微尘粒子对微机械陀螺仪的可靠性影响仿真
【摘 要】
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借助CoventorWare软件，建立在微机械陀螺仪中质量块与底部电极间附有微尘的模型。在网格化后得到的有限元模型基础上，进行模态分析，得到了微尘对驱动和检测模态谐振频率的影响仿
【机 构】
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沈阳理工大学CAD／CAM技术研究与开发中心,沈阳农业大学工程学院
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2008年1期
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