AlN—SiC微波衰减材料的高频介电性能研究

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mengyi123
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分别采用SPS和无压烧结工艺制备了AlN—SiC微波衰减材料。采用网络分析仪及扫描电镜检测仪,研究了衰减材料在X波段和Ku波段的介电性能及微观结构。研究结果表明:SPS制备的样品相对密度达到98%,介电性能在x波段ε为14.01~13.98,tgδ为0.158~0.163,在Ku波段ε’为11.48~10.96,tgδ为0.18-0.17;采用无压烧结制备的样品密度仅为理论密度的95%,在X波段的ε’为26.97~24.26,t驴为0.326~0.327。探讨了两种烧结方式制备样品的损耗机理。
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