论文部分内容阅读
描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。内容包括图形化方案、应变硅技术、超浅结技术、低k侧墙技术、源漏硅化物技术、自对准接触孔技术、后段低k铜互连技术,以及硅基光电集成技术。
集成电路新工艺技术的发展趋势
【摘 要】
：
描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。内容包括图形化方案、应变硅技术、超浅结技术、低k侧墙技术、源漏硅化物技术、自对准接触孔技术、后
【机 构】
：
复旦大学微电子学院
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2020年4期
【基金项目】
：
上海经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项资金(1800505)
其他文献
本文分析了外语教学信息化的研究现状和四、六级口语考试的具体要求,根据虚拟云桌面的现有研究,对比IDV模式和VDI模式的优缺点,结合外语教学现有硬件设施和软件条件,构建了基
基于 Proteus 和 Keilc 设计了一款指纹识别密码锁。该密码锁以 STC89C52 单片机为控制核心,将指纹识别模块所收集的指纹信息与存储模块中的指纹信息对比辨别,通过液晶显示模块显示识别结果并根据结果控制电机实现开锁,锁定,报警等操作。
交通是城市发展的命脉。由于居民的出行、活动呈现明显的时间性,致使同一个地点,在一天中不同时间的车流量有很大不同,但是每一天的车流量的变化规律大致相同。基于此特点,设