论文部分内容阅读
用傅里叶红外光谱(FT-IR)测试分析了等离子体化学气相沉积法沉积的非晶SiOx∶H(0≤x≤2.0)薄膜中的Si— O —Si伸缩振动模与氧含量x的关系。Si— O —Si伸缩振动模在1000和1150 cm-1有两个吸收峰。1000和1150 cm-1吸收带的积分吸收强度之和Isum与薄膜中的Si原子密度NSi之比Isum／NSi,在x=0～2.0范围内与x成正比。求得比例系数ASiO(Si— O —Si谐振子强度的倒数)为1.48×1019 cm-1。用此比例系数可快速简便地用FT-IR求