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在改良西门子法多晶硅生产中,主要的中间产品为精制三氯氢硅和氢气,精制三氯氢硅、氢气的质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三氯氢硅来源于精馏工序。本文重点对现有的多晶硅装置精馏工序精制三氯氢硅生产工艺进行了简要的介绍,重点探讨了要生产出合格精制三氯氢硅的质量控制要点。
多晶硅生产中精制三氯氢硅质量控制的探讨
【摘 要】
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在改良西门子法多晶硅生产中,主要的中间产品为精制三氯氢硅和氢气,精制三氯氢硅、氢气的质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三氯氢硅来源于精馏工序。本文重点对现有的多
【机 构】
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内蒙古神舟硅业有限责任公司;
【出 处】
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化学工程与装备
【发表日期】
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2004年期
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