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期刊论文
一种复杂图形的处理和扫描技术
一种复杂图形的处理和扫描技术
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fky12345
【摘 要】
:
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术,提出了一个大场中,分割成若干小场的扫描实用算法,完成各小场的定位及高速扫描硬件及软件结构。
【作 者】
:
刘伯强
【机 构】
:
山东工业大学自动化系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
矢量扫描
微机控制
版图图案
扫描技术
集成电路
algroithm processing
microfabrication
vector scanning
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介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术,提出了一个大场中,分割成若干小场的扫描实用算法,完成各小场的定位及高速扫描硬件及软件结构。
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