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  5. 双层螺旋RF MEMS电感的模拟与设计

双层螺旋RF MEMS电感的模拟与设计

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong573
【摘 要】
：
分析了双层螺旋电感的等效电路模型,研究了一种与传统CMOS工艺兼容的MEMS工艺,通过腐蚀电感结构下的硅衬底使电感悬空.利用HFSS软件对一些双层螺旋微电感进行了模拟,模拟结果
【作 者】
：
武锐 廖小平 
【机 构】
：
东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室南京
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
：
2007年5期
【关键词】
：
MEMS 双层电感 Q值 CMOS后处理 MEMS  Double-layer Spiral Inductor  quality factor  post-CM 
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(60676043)
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分析了双层螺旋电感的等效电路模型,研究了一种与传统CMOS工艺兼容的MEMS工艺,通过腐蚀电感结构下的硅衬底使电感悬空.利用HFSS软件对一些双层螺旋微电感进行了模拟,模拟结果表明,相比传统单层电感,双层电感可以减少60%的芯片面积,10nH的电感也只需要很小的面积,经过MEMS后处理的双层螺旋电感的最大Q值都超过了20.
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