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采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备得到了AZO薄膜,研究了溶胶组分对AZO薄膜晶体结构的影响。结果表明：溶剂、稳定剂和铝掺杂量不仅可以改变晶体生长取向,而且影响晶体的尺寸;以乙二醇独甲醚为溶剂,乙醇胺为稳定剂能够得到（002）晶面优先生长,且粒径较大的晶体;而铝掺杂量的增加虽然能够增强晶体的优先生长趋势,但抑制了晶体的长大。