The Effect of Temperature and Doping Level on the Characteristics of Piezoresistive Pressure Sensor

来源 :传感技术(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：five126

【摘要】

：

Piezoresistive pressure sensors based on silicon have a large thermal drift because of their high sensitivity to temperature. The study of the effect of the tem

【作者】

：

Beddiaf Abdelaziz Kerrour Foua

【机构】

：

DepartmentofElectronics,MoDERNaLaboratory,MoDERNaLaboratory

【出处】

：

传感技术(英文)

【发表日期】

：

2014年2期

【关键词】

：

THERMAL DRIFT Pressure PIEZORESISTIVITY PIEZORESISTIVE COEFFICIENTS SENSOR Therm

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Piezoresistive pressure sensors based on silicon have a large thermal drift because of their high sensitivity to temperature. The study of the effect of the temperature and doping level on characteristics of these sensors is essential to define the parame

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