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本文主要介绍了单片机控制三维样品台的发展现状、技术指标以及基本设计思路等.硬件电路部分用cpld作为步进电机的驱动芯片,单片机作为主控芯片,加上各部分的辅助电路以实现其功能.软件部分分别采用vhdl语言和汇编语言对cpld和单片机进行编程,实现对步进电机的工作状态的控制,满足样品台的要求.文中还给出了样品台三维定点的基本原理介绍以及利用x荧光仪的检测方法.