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针对显微环境下流动颗粒测量的需要,构建了测量平台,研制了基于MEMS工艺的测量器件。在分析流动颗粒显微图像特征的基础上,提出了基于颗粒运动特性的图像测量流程,其中提出了基于基准桢差分的目标提取算法,解决了流动颗粒目标分割的问题,根据图像运动模糊的退化模型,研究了图像模糊恢复的问题。最后以润滑油中的磨损颗粒为例,验证了该文的分析方法对流动颗粒检测的有效性。