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在近日于上海新国际博览中心闭幕的国际平板显示展、全球最大规模的泛半导体产业SEMICON、SOLARCON展上，法国液化空气集团（以下简称液空）展示的高纯度大宗气体、硅烷（SiH4）、高纯氨等电子特气产品以及新一代的反应腔清洗解决方案，受到广大客户和专业观众的好评。
液空展示系列创新解决方案
【摘 要】
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在近日于上海新国际博览中心闭幕的国际平板显示展、全球最大规模的泛半导体产业SEMICON、SOLARCON展上，法国液化空气集团（以下简称液空）展示的高纯度大宗气体、硅烷（SiH4）、高纯
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年2期
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