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基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计
基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计
来源 :火箭推进 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alxp
【摘 要】
:
采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局部流场之间的关系,由此优化设计了布气装置,
【作 者】
:
王毅
杨晓辉
白龙腾
【机 构】
:
西安航天动力研究所
【出 处】
:
火箭推进
【发表日期】
:
2014年3期
【关键词】
:
CFD
布气装置
CVD
CFDgas distributorCVD
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采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局部流场之间的关系,由此优化设计了布气装置,提高了CVD设备布气的均匀性和稳定性。
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