【摘 要】
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激光清洗技术是近10年来发展的一种新型清洗技术,它以自身的优势在许多领域中逐步取代了传统清洗工艺。脉冲式的Nd：YAG激光清洗的过程依赖于激光器所产生的光脉冲的特性,基于
【机 构】
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中国电子科技集团公司光电研究院,空军驻锦州地区军事代表室
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激光清洗技术是近10年来发展的一种新型清洗技术,它以自身的优势在许多领域中逐步取代了传统清洗工艺。脉冲式的Nd：YAG激光清洗的过程依赖于激光器所产生的光脉冲的特性,基于由高强度的光束、短脉冲激光及污染层之间的相互作用所导致的光物理反应,介绍了Nd：YAG激光器的基本原理及分类,着重对激光清洗原理进行了分析。还介绍了用Nd：YAG激光器进行的清洗实验。结果表明,用Nd：YAG激光器清洗光滑基底表面污粒具有很好的效果,是今后清洗技术发展的一个方向。
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