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提出了TFSOI RESURF功率器件的表面电场分布和优化设计的新解析模型．根据二维泊松方程的求解，得到了表面电场和电势分布的相关解析表达式．在此基础上，推出了为获得最大击穿电压的优化条件。讨论了击穿电压和漂移区长度及临界掺杂浓度和场氧化层、埋氧化层的关系．解析结果与半导体器件数值分析工具DESSISE-ISE得到的数值分析基本一致，证明了新解析模型的适用性．