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PT种子层对微力传感器性能的影响

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 3次 | 上传用户：jiajia_jiang

【摘要】

：

为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流。结果表明,在同为600℃退火温度下,两种薄膜均具有钙钛矿结构,而且PT/PZT/

【作者】

：

孟汉柏崔岩王兢陈会林王立鼎

【机构】

：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,大连理工大学电子与信息工程学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2008年03期

【关键词】

：

PZT薄膜 PT/PZT/PT薄膜微悬臂梁微力传感器压电系数 PZT thin film PT/PZT/PT thin film rnicrocant

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为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流。结果表明,在同为600℃退火温度下,两种薄膜均具有钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向。当外加电压增加时,PZT薄膜的漏电流基本保持不变;PT/PZT/PT薄

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