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高频线圈坡面对生长FZ单晶的影响
高频线圈坡面对生长FZ单晶的影响
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dexter001
【摘 要】
:
通过对高频线圈下坡面对生长FZ单晶的作用,分析了不同坡面线圈的磁力分布,以及磁力在单晶生长过程中的作用。线圈下面坡度的大小,会产生分布不同的磁力,在FZ单晶生长时,磁力
【作 者】
:
董军恒
刘洪飞
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
FZ单晶
高频线圈
磁力
FZ crystal High-frequency coil Magnetic force
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通过对高频线圈下坡面对生长FZ单晶的作用,分析了不同坡面线圈的磁力分布,以及磁力在单晶生长过程中的作用。线圈下面坡度的大小,会产生分布不同的磁力,在FZ单晶生长时,磁力对固液交界面的外边缘有重要的影响。分析认为采用下坡度合适的加热线圈,可以有利于单晶的顺利生长,提高单晶的成功率。
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