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静电封接在压力传感器生产中的应用
静电封接在压力传感器生产中的应用
来源 :电工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nobodypan
【摘 要】
:
静电既有危害,也能应用。本文介绍了静电封接在压力传感器生产中的应用,分析了原理,介绍了土艺、制备和新的封接方法,对提高产品质量具有现实意叉。
【作 者】
:
斌实
【出 处】
:
电工技术
【发表日期】
:
1992年12期
【关键词】
:
静电封接
硅膜片
压力传感器
力敏元件
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静电既有危害,也能应用。本文介绍了静电封接在压力传感器生产中的应用,分析了原理,介绍了土艺、制备和新的封接方法,对提高产品质量具有现实意叉。
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