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利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增加,膜内sp3 C--N键的含量相对增多,表明N离子注入更有利于sp3 C--N键的形成.
N离子注入非晶碳膜的CN成键研究
【摘 要】
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利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增
【机 构】
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延边大学,吉林大学
【出 处】
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吉林大学学报：理学版
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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