论文部分内容阅读
制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明，基板温度、氧／乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。
影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数
【摘 要】
：
制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明，基板温度、氧／乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。
【机 构】
：
温州大学机械学院
【出 处】
：
温州大学学报
【发表日期】
：
2001年3期
其他文献
甲醇是重要的工业原料,制造工艺涉及内容多,专业性强,注重甲醇制造工艺研究,明确甲醇生产中存在的不足,积极优化相关工艺流程,保证甲醇生产品质的同时,更好地提高经济效益,一