二氯二氢硅精馏提纯方案的研究与优化

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根据二氯二氢硅原料分析得到其实际组成与含量,结合工厂现有的生产设备与生产情况,应用AspenPlus软件设计并模拟了分离二氯二氢硅原料中各种杂质的流程,并对各塔的操作参数进行了优化,使产品中杂质的含量控制在ppt级,模拟得到较好的结果。
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