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由磷肥厂副产氟硅酸同碳铵反应得氟硅酸铵,再和碳铵反应生成SiO2沉淀,经过滤、水洗、干燥、煅烧得高纯SiO2,其金属杂质总含量小于10×10-6,含放射性元素铀和钍各小于10×10-9,通过实验获得了适宜的工艺条件,反应温度70 ℃～80 ℃,反应时间1.5 h～2.0 h,配料比n(NH4HCO3)∶n((NH4)2SiF6)=4.4.提出了一条由氟硅酸制高纯SiO2的新工艺.