【摘 要】
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傅里叶变换法分析薄膜掠入射X射线反射率曲线是获得膜层厚度、界面粗糙度等重要结构信息的分析方法之一。在傅里叶变换分析中，窗函数的选择对变换结果有重要的作用。通过对比分析“矩形窗”傅里叶变换(FFT)和“小波窗”傅里叶变换(WFFT)，发现WFFT有效抑制了FFT自相关函数出现的大量干扰峰，这对于分辨真假峰和邻近两个峰值具有重要的意义。此外，研究发现FFT和WFFT的膜层厚度分辨误差随着信号截取长度的增加呈非周期性振荡，该振荡变化与反射率曲线振荡有关，在布拉格衍射峰谷附近截断信号会得到较好的厚度分辨结果。对实
【机 构】
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同济大学物理系先进微结构材料教育部重点实验室，上海200092
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傅里叶变换法分析薄膜掠入射X射线反射率曲线是获得膜层厚度、界面粗糙度等重要结构信息的分析方法之一。在傅里叶变换分析中，窗函数的选择对变换结果有重要的作用。通过对比分析“矩形窗”傅里叶变换(FFT)和“小波窗”傅里叶变换(WFFT)，发现WFFT有效抑制了FFT自相关函数出现的大量干扰峰，这对于分辨真假峰和邻近两个峰值具有重要的意义。此外，研究发现FFT和WFFT的膜层厚度分辨误差随着信号截取长度的增加呈非周期性振荡，该振荡变化与反射率曲线振荡有关，在布拉格衍射峰谷附近截断信号会得到较好的厚度分辨结果。对实验制备的单层Ni和四层Si/Ti/Ni/Ti薄膜进行了FFT和WFFT分析，验证上述结论，为分析非传统周期薄膜提供一种精确表征的方法。
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