【摘 要】
：
针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080
论文部分内容阅读
针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的非晶化薄膜,再在400℃空气中氧化退火,便可制得高电阻温度系数,低电阻率的VO2薄膜,电阻温度系数约为-4%/℃,薄膜方块电阻为R□为100—300kΩ;薄膜在室温下沉积,400℃下退火的制备方法与微机电加工(micro electromechanical systems,简称为MEMS)工艺有很好的兼容性.
其他文献
＂政府是否应该制定产业政策＂是目前学者们争论的一个热门话题。本文从民营企业角度出发,根据政府颁布的＂五年计划＂将产业政策分为一般鼓励政策与重点鼓励政策,采用2007—2015年的
<正> 就像语言里存在着大量的同义词一样,汉语词汇里的成语也是非常丰富的。例如:形容“快”的成语:一挥而就——画得快,倚马可待——写得快,风驰电掣——开得
课例研究为教师群体搭建了一个合作研修的平台,教师通过参与课例研究可以促进自身的专业发展。而且已有研究发现,在课例研究的过程中,教师群体可以逐渐建构起同僚性,形成学习
《国家中长期教育改革和发展规划纲要(2010—2020年)》将学前教育提到了一个重要位置,学前教育的发展在今后的十年中将会是重点项目。在我国公办学前教育机构有限,无法负荷学
在药物分析中高效液相色谱法用得非常普遍,而色谱柱的选择直接影响实验结果与药物的质量控制。不同C18色谱柱的保留行为千差万别,选择适宜的色谱柱对分析样品至关重要。以C18
目的探讨支撑纵切扩皮法在B超引导赛丁格PICC置管中的应用效果。方法选取我院肿瘤放疗科采用B超引导联合赛丁格技术行PICC 108例患者为研究对象,按入组顺序进行编号,奇数号为
一九八五年九月,上海电影制片厂邀请了电影界的部分专家和作者,在湖南召开了关于改编小说《芙蓉镇》为电影的座谈会。参加座谈会的有陈荒煤同志、上海电影制片厂厂长徐桑楚同
高校体育教学、学生身体锻练，除了要进行单纯力量练习外，还要付出相当时间进行跳高、跳远、球类练习。跳深练习是将最大力量与弹跳力结合起来的方式之一。