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离子注入和溅射率的蒙特卡罗模拟计算
离子注入和溅射率的蒙特卡罗模拟计算
来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yumiaochan
【摘 要】
:
蒙特卡罗方法是一种模拟随机性问题的好方法 ,文章依据离子注入和溅射原理并运用蒙特卡罗方法在计算机上模拟了氩离子注入铜靶中的注入离子轨迹、碰撞级联和铜靶在氩离子不同
【作 者】
:
陈长琦
朱武
方应翠
干蜀毅
陈贤祥
【机 构】
:
合肥工业大学机械与汽车工程学院
【出 处】
:
合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年06期
【关键词】
:
蒙特卡罗方法
离子注入
溅射
模拟
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蒙特卡罗方法是一种模拟随机性问题的好方法 ,文章依据离子注入和溅射原理并运用蒙特卡罗方法在计算机上模拟了氩离子注入铜靶中的注入离子轨迹、碰撞级联和铜靶在氩离子不同能量和氩离子不同入射方向时的溅射率 ,并对所取得的模拟结果进行了分析研究 ,为提高溅射镀膜生产效率提供了理论依据。
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