MEMS微弹簧应用模式分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuandt

【摘要】

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根据微弹簧在微机电系统(MEMS)中使用模式的不同,将微弹簧分为三种应用模式进行分析.应用LIGA加工工艺,设计加工了一种"L型"MEMS微弹簧,应用宏观理论的能量法,推导出了"L型"

【作者】

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李华石庚辰

【机构】

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清华大学,北京理工大学宇航科学技术学院

【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

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2007年12期

【关键词】

：

MEMS 微弹簧应用模式弹性系数 MEMS microspring application pattern spring coefficient

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根据微弹簧在微机电系统(MEMS)中使用模式的不同,将微弹簧分为三种应用模式进行分析.应用LIGA加工工艺,设计加工了一种"L型"MEMS微弹簧,应用宏观理论的能量法,推导出了"L型"微弹簧在三种应用模式下的弹性系数计算公式,并用有限元仿真计算验证了理论公式推导的正确性.利用Tytron250微小力拉伸实验机对"L型"微弹簧进行了拉伸实验,实验结果与公式计算结果吻合.在此基础上,分析总结了微弹簧在不同应用模式下的弹性系数变化规律.

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