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本文提出并实现了一种基于库尔特计数器原理的纳通道热气泡检测技术.利用微纳加工技术,设计、制作了可以有效检测纳米级通道中的热气泡特性的实验器件,搭建了检测平台,实际考察了截面尺寸为100 nm×100nm的纳通道中的热气泡成核行为.实验结果表明,随着纳通道中溶液温度的逐渐增加,流经纳通道的电流逐渐增大,而后呈下降趋势,再经过一段时增时减的复杂变化后,电流信号最终消失.实验结果间接表明,纳通道中产生了阻碍电流的热气泡,热气泡体积的增大与减小对应通道电流的减小与增加,经过一段复杂的体积变化后,热气泡最