【摘 要】
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采用溶胶—凝胶法在ITO导电玻璃衬底上制备氧化锌(ZnO)薄膜,研究其结构、光学透过率和电学性能。AFM测试结果表明,ZnO薄膜晶粒尺寸随退火温度的提高而增大。薄膜的光学透过率
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采用溶胶—凝胶法在ITO导电玻璃衬底上制备氧化锌(ZnO)薄膜,研究其结构、光学透过率和电学性能。AFM测试结果表明,ZnO薄膜晶粒尺寸随退火温度的提高而增大。薄膜的光学透过率曲线显示,在大于400nm的波段,ZnO的透过率比较高,而其禁带宽度约为3.25ev。在相同的电压下,ZnO薄膜产生的电流大小随着退火温度的提高,先增强后减弱,在550℃时达到最大。
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