【摘 要】
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主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
Mainly introduced the development background of MEMS, research content, characteristic, present situ
【机 构】
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北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所 北京100871,北京100871,北京100871
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主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
Mainly introduced the development background of MEMS, research content, characteristic, present situation and development trend.
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