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介绍一种全新的光激励微型悬臂梁谐振器,谐振器的振动可以用激光反馈干涉的方法进行测量。
光激励微型悬臂梁谐振器
【摘 要】
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介绍一种全新的光激励微型悬臂梁谐振器,谐振器的振动可以用激光反馈干涉的方法进行测量。
【机 构】
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清华大学自动化系,清华大学自动化系
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1991年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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