【摘 要】
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介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。
The application of laser-induced wet etching tec
【机 构】
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华中科技大学机械电子信息工程系,华中科技大学机械电子信息工程系,华中科技大学机械电子信息工程系 武汉 430074rrrrrrrrn,武汉 430074rrrrrrr
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介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。
The application of laser-induced wet etching technology in micromachining of various materials is introduced. At the same time, its mechanism of action and etching characteristics are briefly discussed, and its development is prospected.
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