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开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统，开展了单口径平面度测量及拼接实验，完成了200mm×300mm平面光学元件的平面度测试，并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对，拼接结果的10次实验均方差为0．001λ（λ=632．8nm）。