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射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜

来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fogstorm

【作 者】

：

杨保和 徐娜 陈希明 薛玉明 李化鹏

【出 处】

：

光电子.激光

【发表日期】

：

2007年12期

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