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在分析触针式表面结构区域法测量系统的基础上,介绍了其软件系统的功能设计、软件构架及软件实现等。并根据ISO/TC25178-7软件测量标准,通过与NIST-Internet based Surface Metrology Algorithm Testing System调用同一组SDF格式数据进行对比,验证了本软件的准确性。